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奇鼎MIT精密儀器打入半導體產業供應鏈
2024/9/30
奇鼎MIT精密儀器打入半導體產業供應鏈,連結環控與永續——奇鼎科技股份有限公司

文.整合傳播企劃
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半導體是世界上製程最精密的產業之一,對於環境中所有因素的控制都十分講究,溫度、濕度、氣體分子,都有可能造成產品良率異常。而在堪稱半導體王國的臺灣,早期的環境控制設備,幾乎都靠國外引進。有感於此,奇鼎科技在2003年投入了環控設備與技術的自主研發,從此開啟了這些高階儀器的國產化。現在,他們早已是許多國際大廠的設備供應商,對於下一步發展,又有何思考?
精密環控國產化 起源於好奇的先驅者
「我之前是工程師,臺灣921地震發生那一年,我跟客戶去園區檢視設備損傷狀況,在曝光機旁邊發現一台機器,叫恆溫恆濕機。」董事長鄭智文回憶。

在奇鼎的工廠裡看見了他口中的恆溫恆濕機,體型龐大又四四方方,乍看之下像是一台大型冷氣。然而就是這一台看似平凡的機器,在當年地震發生後,維修跟保險理賠的金額高達新臺幣2,000萬元,讓鄭智文震驚不已,同時也不免好奇:這一台機器,究竟是做什麼的?

後來,他了解到,這台恆溫恆濕機只有日本在生產,但鄭智文覺得,「以我們臺灣本身的技術與想法,應該也能夠開發出同樣的機器。」

從0開始 勇於挑戰特殊領域
問起為什麼選擇創業,鄭智文則說,「因為做這種特殊的產品比較有趣。」並且這樣的機具未來需求一定會大幅提升,更有利基點。奇鼎的「奇」,是創造奇特產品的「奇」,鄭智文與一群志同道合的夥伴,帶著挑戰的樂趣,在這塊特殊的領域裡穩健成長,從2007年將第一台國產精密溫控機組賣給半導體封裝大廠開始,逐年締造亮麗的里程碑。

2009年半導體製程走到28奈米,那時很多大廠都遇到了一個瓶頸,就是製造過程中,會產生污染物,於是奇鼎在台積電的邀請下投入研發新的設備,那是世界第一台有機TVOC(揮發性有機氣體)自動偵測分析設備,更是全球第一次,將實驗室內使用的氣相層析質譜儀 GC-MS設置在生產現場。「那段時間所有FAB(半導體製造廠)都有那台設備,包含三星跟Intel都有來找我們了解。」

技術研發達到微控±0.01°C 突破外商壟斷
2012年,因為化學物揮發會造成曝光機鏡頭霧化污染,奇鼎再度發揮自己的研發優勢,打造了全球第一台長效型AMC去除設備。利用獨家的水洗技術,讓設備不必使用濾網等高成本耗材,24小時都能運作,且去除率超過 80 %到 90%。加上設備可利用回收再生水,因此這個機台不只讓曝光機能保持壽命跟穩定性,還可以協助客戶節省成本。


全球第一台長效型AMC去除設備,由臺灣本土企業奇鼎科技領先全球。

到了2021年,他們又再度突破,做出了第一台國產化Wet Scrubber(洗滌塔),鄭智文說,這是一個還蠻特殊的機型,因為現在半導體的製程速度變快了,在晶圓清洗過程中產生的化學物,處理不完全會污染到機台跟環境。「這個原本只有德國的設備商在做。」但鄭智文覺得,「我們既然能處理曝光機的污染,那也應該可以處理這個,把機台排出去的污染物處理乾淨,不要污染到環境。」


2021年第一台國產化Wet Scrubber誕生後,董事長鄭智文引領企業同仁持續精進。

就是這種「我們做得到」的想法,讓奇鼎成為了全球精密度最高的製程環境控制設備製造商,持有100件以上專利,及國家磐石獎、國家產業創新獎、中小企業創新研究獎、潛力中堅企業等30件以上獎項。產品溫度控制±0.01℃及相對濕度±0.5%、潔淨度到最高等級ISO Class1。裝機範圍遍布兩岸、美國、德國、瑞士、日本、韓國、新加坡等地,客戶包括國際半導體晶圓廠、高階封裝測試廠與外商半導體設備商,在兩岸光電產業的市占率更超過60%,並突破了外商壟斷設備與技術的情形,讓國產化設備打進全球供應鏈。


國家磐石獎、創業相扶獎,產業貢獻備受肯定。

因應成長與改變 政策相挺投資7億
隨著公司實力逐漸壯大,產品遍佈兩岸、歐美、日韓等地,鄭智文希望能更好地滿足國際客戶的供貨需求。「我們需要更多的產能,也要更清楚、完全地掌握客戶的資訊,需要更有效率的管理。」

於是在2019年,奇鼎科技選擇申請「中小企業加速投資方案」,並在2020年投入7億元新建廠房,鄭智文說,因為他是新竹人,所以也選擇在新竹建廠,在熟悉的地方更有打拼的底氣,同時由於政策幫助,讓他們能夠享有較低的貸款利息,建廠的壓力大減,還能加進一些一直很想規劃的東西。

新廠坐落在新竹鳳山工業區,總樓地板面積逾2,700坪,特別的是挑高10米,滿足歐美客戶的認證需求,環境品管更達到潔淨室等級。同時奇鼎還導入智慧生產及管理系統,透過CRM系統,將客戶訂的所有機器、序號、生產過程等資訊全部記錄分析,並統整每個機台的弱點與使用狀況,讓奇鼎的研發部門更清楚知道客戶現在甚至未來的需求。

「中小企業加速投資方案還讓我們有充裕的時間成立技術處,設置了化學分析實驗室、外氣實驗室和精密儀器校正實驗室。」這為後續其它政府資源的到位打下了堅實基礎,也有利於他們研發的精進跟產品穩定度的控制。


獲得經濟部中小及新創企業署方案輔導,完成廠內設備升級。

注重企業ESG 為高階製程賦予綠色價值
這間新廠最特別之處,在於鋪滿屋頂的太陽能板。我們能搭上直通屋頂的電梯,就證明了這些設備在最開始便納入設計,同時也反映出鄭智文最重視的部分。「我們的目標,是RE100(100%再生能源使用),所以我們設計了這個太陽能板,自發自用,並且我們在2022年就完成了碳盤查。」

「我們本來就在做節能。」鄭智文又說,奇鼎以「製程高濃度AMC去除機組」(國產化Wet Scrubber)和「小型製程精密溫溼度控制機組」獲得第31屆臺灣精品獎殊榮。前者可以省電37%、省水50%、減少Running cost 44%、縮小Footprint尺寸43%,增加硫酸液滴去除功能,效率大於85%。後者採用熱回收系統,取代電加熱,運轉電流節省44%,且使用R407C環保冷媒,完全不含破壞臭氧層成分。

頂尖技術根留臺灣 期待與更多人在永續共同進步
奇鼎的未來展望,是為全世界最精密製程提供最佳的製程環境;並協助企業及國家達成碳平衡。對此,鄭智文也不諱言,「我們的舊廠其實不太能做這些事情,想要做一些有效的ESG節能設計也不太適合。」

所以這次的新廠,在政策補助之下,不僅有產能的提升,更針對降溫用冰水、空調、照明、空氣對流等層面做了節能規劃。並且在工程體系與設備體系以及客戶的設備端中,都加入了節能設計,至今總共協助客戶大概省下15億元的電費,相當於30萬噸的碳排放量。

在鄭智文看來,ESG是國際未來的方向,也是企業的方向,他笑著說,很感謝經濟部中小及新創企業署的幫助,奇鼎未來將會在ESG這一塊做持續的努力,也會繼續協助客戶們增加ESG量體,攜手更多人,一同為更美好的未來奮鬥。<摘錄未來城市>
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